来源：山哥来说
在中国半导体产业面临国际技术封锁与供应链安全挑战的背景下，一家名为新凯来的企业横空出世，成为2025年上海国际半导体展览会（SEMICON China 2025）上最耀眼的明星。
这家成立仅三年的企业不仅一口气发布了覆盖半导体制造全流程的31款设备，更以其独特的技术路线和国资背景，向国际半导体设备巨头的垄断地位发起挑战。
新凯来似乎是一夜之间从石头里蹦出来的一样，充满来神秘，其抛出的产品犹如一颗颗核弹，影响巨大，本文来解读一下新凯来的前世今生与技术突破，探秘其独特的“国资+技术”发展模式，并评估其对中国半导体产业链自主可控的战略价值与长远意义。
从华为剥离的隐秘历史到深圳国资委的强力支持，从刻蚀设备的技术对标到量检测设备的国产替代，新凯来的崛起不仅是一个企业的成功故事，更是中国半导体产业从被动防御转向主动突围的生动缩影，不可谓不精彩。
新凯来的横空出世与展会重磅发布
2025年3月26日，上海国际半导体展览会（SEMICON China 2025）现场人头攒动，深圳新凯来工业机器有限公司的展台成为全场焦点。这家此前鲜少露面的企业首次参展便震撼了整个半导体圈，一口气发布了6大类31款半导体设备新品，覆盖了从薄膜沉积到刻蚀、量检测的全链条工艺装备。
这些设备以中国名山命名——普陀山PVD、长白山CVD、武夷山刻蚀机、阿里山ALD等——不仅彰显了鲜明的国产化标签，更暗合了中国半导体产业“翻山越岭”突破技术封锁的雄心壮志。
在新凯来工艺装备产品线总裁杜立军题为《半导体工艺装备的机遇与挑战》的演讲中，他系统阐述了公司的技术理念与产品布局。杜立军指出：“一代工艺，一代材料，一代装备“是新凯来的核心设计理念，半导体设备的演进必须与工艺和材料的进步同步。
面对当前先进光刻机在国内被禁的现状，他特别强调了非光补光技术的重要性，包括多重曝光、自对准和选择性沉积等创新方法，这些技术有望部分弥补中国在光刻领域的短板。
全面而系统的产品矩阵
从具体产品看，新凯来的发布可谓全面而系统：
在扩散类产品方面，公司推出了“峨眉山”系列EPI（外延沉积）设备和“三清山”系列RTP（快速热处理）设备各三款。其中，“峨眉山”系列是12英寸单片减压外延生长设备，全面覆盖逻辑及存储外延应用场景；“三清山”系列则包括栅极氧化/氮化设备、超快尖峰退火设备和均温/尖峰退火设备，满足不同退火工艺需求。
刻蚀产品线“武夷山”系列同样包括三款设备：武夷山1号MASTER（精细介质刻蚀设备）、武夷山3号（精细硅/金属刻蚀设备）和武夷山5号（高选择性刻蚀设备）。尤其值得注意的是，武夷山系列刻蚀机直接切入7纳米以下先进制程领域，对标美国应用材料和日本东京电子的同类产品。
薄膜沉积设备则涵盖了PVD（普陀山系列）、ALD（阿里山系列）和CVD（长白山系列）三大类共八款产品。这些设备在反应腔设计、薄膜均匀性控制等关键指标上已接近国际领先水平，有望打破AMAT（应用材料）在PVD领域85%的市场垄断。
更为突破性的是新凯来在量检测设备领域的布局。
长期以来，量检测装备是前道装备中国产化率最低的类别之一，国内厂商市场份额不足5%。而新凯来此次展出了光学检测、光学量测、PX量测和功率检测四大类产品，包括岳麗山BFI（明场缺陷检测）、丹霞山DFI（暗场缺陷检测）、天门山IBO（图形套刻量测）、沂蒙山AFM（原子力显微镜量测）等。
公司表示，其光学量检测产品已基本完成客户验证，将于2025年进入量产状态。
这一系列产品的发布不仅展示了新凯来强大的技术研发能力，更标志着中国半导体设备产业正从“单点突破”向“系统突围“转变。
正如杜立军在演讲中所强调的，新凯来已在系统架构、硬件、器件和算法方面全面布局，构建了等离子体、热管理、流体控制、装备智能化等10多个基础实验室，为半导体工艺持续演进筑牢根基。
从华为剥离到国资接手：新凯来的前世今生与独特模式
新凯来的崛起绝非偶然，其背后有着复杂而精心的产业布局与资本运作。
多方信息显示，这家看似“横空出世”的企业实际脱胎于华为旗下某半导体设备子公司，在2022年国际供应链压力最大的时期，通过一场低调的资本腾挪，由深圳国资委接手并注资成立。
这一安排既保留了华为在半导体设备领域的技术积累，又通过国资介入规避了国际制裁风险，堪称中国半导体产业“技术保全“的经典案例。
企业公开信息显示，新凯来技术有限公司成立于2021年8月，由深圳市深芯恒科技投资有限公司全资控股，穿透后实控人为深圳市人民政府国有资产监督管理委员会。
2022年，新凯来工业机器有限公司成立，成为设备研发与制造的主体。到2024年，新凯来技术注册资本增至15亿元，为后续大规模研发和产品化提供了充足资金保障。
这种“国资+技术“的独特模式赋予了新凯来多重优势。
一方面，其核心团队来自华为“星光工程事业部”，拥有20年以上的电子设备研发经验，并与国内半导体产业链上下游深度绑定；
另一方面，深圳国资委不仅提供资金支持，更通过政策倾斜推动其与中芯国际、长江存储等头部晶圆厂合作，加速产品验证与市场导入。
深厚的技术积累与研发体系
新凯来的技术积累从其专利布局可见一斑。公司拥有超过80项发明专利和实用新型，覆盖光学、材料、工艺控制等关键环节。
2024年10月，新凯来获得了“具有升降结构的工艺处理设备”专利，优化了工艺处理过程中的物料搬运效率。同年11月，公司研发的“静电卡盘及工艺设备”专利，解决了晶圆加工中电荷释放速率慢的行业痛点。
在研发体系上，新凯来已建立起覆盖基础材料工艺-零部件-装备的端到端研发体系。除了深圳总部，公司还在上海、北京、西安、武汉、成都、杭州等国内城市及海外设有研发中心。
从招聘信息看，公司正大力吸纳机械、光学、光电、材料、软件和硬件等多领域人才，特别是精密仪器、光学工程、半导体物理、算法等专业方向，构建跨学科研发团队。
值得注意的是，新凯来的发展路径体现了深圳作为中国集成电路产业第三极（仅次于上海、北京）的独特策略。
过去深圳长于芯片设计而疏于制造，近年来通过政策扶持、产业链整合等方式积极补足短板。除新凯来外，深圳市重大产业投资集团还部署了中芯深圳12英寸产线、华润微电子特色工艺生产线、重投天科碳化硅材料基地等多个项目，正在形成完整的半导体产业集群。
这种“技术基因+资本助力+政策护航“的三重驱动模式，使新凯来在短短三年内完成了从初创企业到行业黑马的蜕变。
正如行业观察人士所指出的，新凯来的崛起并非孤例，而是国资主导下通过资本重组和技术整合打造“隐形冠军”的整体战略的一部分。
在民生健康科技等领域，类似的成功案例还有香港大学研发的“绿灯瓶”等产品，它们共同展示了中国在关键科技领域实现自主可控的系统性努力。
突破技术封锁：新凯来的核心创新与行业影响
在全球半导体产业格局重塑的背景下，新凯来的技术突破具有特殊意义。公司不仅填补了国内多项空白，更在部分领域实现了与国际巨头的直接对标，为破解中国半导体设备的“卡脖子”困境提供了现实路径。
在刻蚀技术方面，新凯来的武夷山系列设备尤为引人注目。随着芯片工艺从平面晶体管（PlanarFET）向鳍式场效应晶体管（FinFET）乃至全环绕栅极晶体管（GAAFET）演进，刻蚀技术面临精细化、多向性和高纵深等严峻挑战。
新凯来的武夷山1号MASTER采用电容耦合等离子体（CCP）干法刻蚀技术，腔室设计为全对称架构，可配置6个工艺腔，满足先进节点各类精细介质刻蚀需求。
更关键的是，该系列设备直接切入7纳米以下先进制程领域，在这一长期被美国应用材料、日本东京电子垄断的市场发起挑战。
在薄膜沉积领域，新凯来的创新同样可圈可点。其ALD（原子层沉积）设备“阿里山”系列采用五边形平台和Twin腔领先架构，能够满足图形化、超薄薄膜、超高深宽比gap fill等严苛需求。
而PVD（物理气相沉积）设备“普陀山”系列则在镀膜均匀性、颗粒缺陷控制和填孔品质等关键指标上表现优异，技术参数已接近国际领先水平。
这些突破对于减少中国在薄膜沉积设备上对AMAT、TEL等国际巨头的依赖至关重要。
尤为值得关注的是新凯来在非光补光技术上的布局。
杜立军在演讲中坦言，在先进光刻机被禁的现状下，多重曝光、自对准和选择性沉积等技术成为突破光刻桎梏的重要选择。然而，这些技术的应用会使工艺步骤增加约20%，对良率和设备工艺窗口提出新考验。
为此，新凯来聚焦于等离子体/自由基精准控制（能量控制精度）、气体/能量控制快速切换（硬件响应速度）和腔体环境快速稳定（工艺窗口）三大方向进行装备创新。
公司还开发了从原子物理模型到腔式化学反应模型的仿真软件，并结合射频源、滤波器等硬件创新，全面提升设备性能。
在量检测设备这一国产化率最低的领域，新凯来的突破同样意义重大。根据公开信息显示，尽管中国半导体量测检测设备市场规模占全球约34%，但国产厂商市场份额尚不及5%。
新凯来此次展出的光学量测、PX量测等产品，有望改变这一局面。其光学检测产品如岳麗山BFI（明场缺陷检测）、丹霞山DFI（暗场缺陷检测）已基本完成客户验证，将于2025年量产；PX量测产品如沂蒙山AFM（原子力显微镜量测）、赤壁山-XP XPS（X射线光电子能谱量测）等则填补了国内空白。
从产业链角度看，新凯来的技术突破正在产生涟漪效应。
一方面，其设备已通过中芯国际等国内龙头晶圆厂的验证，开始在实际生产中发挥作用；另一方面，公司坚持正向设计和全链路垂直整合的策略，带动了国内半导体设备零部件和材料产业的发展。这种“以点带面”的效应，正助力中国半导体产业构建更加完整、自主的供应链体系。
从全球竞争格局看，新凯来的崛起正在改变半导体设备市场的力量对比。
长期以来，光刻机、刻蚀机、薄膜沉积设备等关键装备被应用材料、阿斯麦、东京电子等国际巨头垄断。而新凯来覆盖全链条的设备矩阵，使中国首次具备了在半导体设备领域进行系统级竞争的能力。
虽然公司在最先进制程上与国际龙头仍有差距，但其快速进步的技术能力和国资背景下的持续投入，已经让国际同行感受到压力。
战略价值与产业意义：超越替代的自主创新之路
新凯来的崛起绝非仅仅是一家企业的成功故事，其背后蕴含着中国半导体产业发展的深层次战略转向。从被动防御到主动突围，从技术替代到标准引领，新凯来的实践标志着中国半导体产业正在探索一条超越简单替代的自主创新之路。
供应链安全是新凯来最直接的价值所在。
在地缘政治因素影响下，半导体设备的自主可控已成为关乎国家科技安全的核心议题。正如报道所指出的，“制造芯片的这些设备大多都是控制在海外企业手里。当中不少设备更是由少数几家企业把持。在这种情况下，留给晶圆厂可议价的空间就不多了”。
新凯来通过扩散、刻蚀、薄膜和量检测设备的全面布局，正在实质性提升中国半导体产业链的自主可控能力。尤其值得注意的是，公司表示其部分设备（包括不在产品清单上的蚀刻工具）能够支持更先进制程的芯片生产，有望增强中国在科技自主方面的努力。
从产业升级角度看，新凯来代表了半导体设备国产化进程的新阶段。
过去几年，中国在去胶、清洗、刻蚀设备方面国产化率较高，在CMP、热处理、薄膜沉积上也有明显突破，但在量测、涂胶显影、光刻、离子注入等设备上仍较为薄弱。
新凯来不仅巩固了中国在刻蚀等传统优势领域的地位，更在ALD、量检测等薄弱环节实现突破，推动国产化从“单点突破”向“系统突围”转变。这种全面布局对于构建完整的半导体设备产业生态至关重要。
在技术路线创新方面，新凯来的实践同样具有启发意义。
面对光刻机等关键设备被禁的现实，公司没有拘泥于传统的技术路径，而是积极探索新材料、先进光刻+非光补光和3D架构等替代方案。
这种基于现实约束的创新思维，可能催生出不同于国际主流的技术路线，为后发国家实现技术超越提供可能。
正如龙芯中科基于自主指令集（LoongArch）开发出性能接近英特尔主流的CPU所证明的，“先进制程决定一切”的行业迷信正在被打破。新凯来的技术路线同样体现了这种“在约束条件下创新”的中国智慧。
从更宏观的产业政策视角看，新凯来的成功验证了“国资引导+市场运作+技术整合”这一中国特色的高科技产业发展模式。
深圳国资委不仅提供资金支持，更通过政策倾斜推动产业链上下游协同，加速技术成果转化和市场导入。这种模式既避免了纯市场导向下的短期行为，又防止了纯行政主导下的效率低下，在半导体这类需要长期投入、高风险高回报的战略性产业中显示出独特优势。
新凯来的崛起还标志着中国科技企业心态与定位的深刻转变。
从华为的昇腾AI生态、龙芯的LoongArch指令集，到新凯来的“名山系列”设备命名，这些案例共同传递出一个信号：中国科技企业不再满足于跟随国际巨头，而是要定义自己的技术路线和产业标准。
这种从“替代者”到“定义者”的身份转变，可能对未来全球科技竞争格局产生深远影响。
值得注意的是，新凯来的发展也引发了关于全球半导体产业未来格局的思考。
中国半导体行业协会集成电路设计分会理事长魏少军在论坛上表示：“未来世界会不会形成中美各自领导的（芯片）技术体系，好像听着有道理，但是从产业发展角度来看，真要发生这种状况的话，恐怕是一个巨大的悲哀，可能是一个几败俱伤的结果。”
这一观点提醒我们，在追求自主可控的同时，也要避免全球半导体产业完全割裂带来的效率损失和创新阻碍。新凯来如何平衡自主创新与国际合作，将是一个值得长期关注的课题。
从长远看，新凯来的价值不仅体现在当下的设备替代，更在于其对中国半导体产业创新能力的整体提升。
新凯来构建的10多个基础LAB和端到端研发体系，培养的大批跨学科人才，积累的海量工艺知识和数据，都将成为中国半导体产业持续创新的宝贵资产。这种创新能力的积累，远比单一产品的突破更为根本，也更为持久。
挑战与展望：新凯来的未来之路
尽管新凯来在SEMICON China 2025上的亮相堪称惊艳，但其未来发展仍面临诸多挑战。从技术追赶、市场开拓到生态构建，这家半导体设备新贵还有很长的路要走。
技术差距是新凯来面临的最直接挑战。
虽然公司已推出支持7纳米以下制程的刻蚀设备，但在最先进制程节点（如3纳米、2纳米）上，与国际龙头仍有明显差距。
量检测设备领域同样如此，尽管新凯来已推出多款产品，但在检测精度、速度和稳定性等关键指标上要达到国际领先水平仍需时日。
半导体设备是一个高度强调技术积累的领域，新凯来需要在研发上持续高强度投入，才能缩小与国际巨头的差距。
市场接受度是另一大挑战。
国际半导体设备巨头如应用材料、东京电子等，与台积电、三星等头部晶圆厂有着数十年的合作关系，形成了深厚的工艺知识和信任基础。
新凯来虽然已与中芯国际等国内厂商开展合作，但要获得全球顶级晶圆厂的认可和采购，还需要经过严格的产品验证和长期的市场培育。特别是在先进制程领域，晶圆厂对设备稳定性和工艺窗口的要求极为严苛，新凯来的设备需要在实际生产中证明自己的竞争力。
供应链自主同样不容忽视。半导体设备本身依赖高精密的零部件和材料，而这些上游环节同样存在“卡脖子”风险。虽然新凯来坚持全链路垂直整合的策略，但完全自主的供应链建设非一日之功。如何在全球化受阻的背景下，构建安全可靠的供应链体系，将是公司面临的长期课题。
人才竞争也将日益激烈。半导体设备行业需要跨学科的高端人才，涉及精密机械、光学、材料、物理、化学、软件等多个领域。随着中国半导体产业的快速发展，各企业对人才的争夺将更加白热化。新凯来如何吸引和留住顶尖人才，构建持续创新的研发文化，直接关系到其长期竞争力。
尽管面临诸多挑战，新凯来的发展前景依然广阔。
从市场需求看，SEMI预计2025年中国在计算芯片制造设备的投资额将达到380亿美元，这为新凯来提供了巨大的市场空间。
从政策环境看，国家对半导体设备自主化的支持力度持续加大，深圳等地方政府也将半导体产业作为重点发展方向。
从技术趋势看，人工智能、智能驾驶等产业的算力需求正推动芯片装备市场稳步增长，而新凯来在装备智能化方面的布局使其有望抓住这一波技术红利。
未来发展战略
未来几年，新凯来可能重点推进以下战略：
技术迭代方面，公司将继续向更先进制程节点迈进，同时拓展在第三代半导体（如碳化硅、氮化镓）设备领域的布局。深圳已建成国家第三代半导体技术创新中心综合平台，为新凯来在这一领域的发展提供了有利条件。
市场拓展方面，新凯来将深化与国内龙头晶圆厂的合作，加速产品验证和量产导入。同时，公司也可能通过“一带一路”等渠道，探索新兴市场的机会，逐步构建全球影响力。
生态建设方面，新凯来需要加强与上下游企业的协同，推动设备、材料和工艺的联合创新。正如应用材料已形成“设备-工艺-材料”的解决方案，新凯来也需要构建自己的生态系统，提升整体解决方案能力。
国际合作方面，在确保供应链安全的前提下，新凯来可能寻求与海外研究机构和企业开展技术交流与合作，吸收全球创新资源，避免技术路线的封闭与僵化。
从更长远看，新凯来的发展将与中国半导体产业的整体进步相互促进。正如魏少军教授所言：“半导体是一个干出来的行业，不是说出来的，要用实际行动来证明其价值。”
新凯来能否持续创新、踏实前行，将决定它能否真正成长为中国半导体设备的标杆企业，乃至全球半导体产业的重要参与者。
在全球化遭遇逆流、科技竞争日益激烈的今天，新凯来的故事才刚刚开始。它的崛起不仅关乎一家企业的成败，更承载着中国半导体产业实现自主可控的集体期待。
无论前路如何，新凯来在SEMICON China 2025上的精彩亮相，已经为中国半导体设备产业写下了浓墨重彩的一笔，未来可期。
责任编辑：尉旖涵